Последњих година сензор моје земље се брзо развија, а његова поља за пријаву се такође шири. Као најдража врста модерне технологије мерења, нове технологије, нови материјали и нови процеси непрестано се појављују у области сензора притиска.
Сензор под притиском је уређај који се користи за откривање притиска сигнала и претвори их у електричне сигнале у складу са одређеним правилима. Широко се користи у разним производњи, индустријским и ваздухопловним пољима. Са подвизијом наношења поља, мерење притиска у високим температурама и оштром окружењима, као што су на уљанским бушотинама на високом температуру и разни моторна возила, док су материјали који се користе у редовним сензорима притиска прелазе одређену температуру (на пример, радна температура дифузних сензора притиска силицијум) мањи од 120 ° Ц). ° Ц) неће успети, што резултира неуспехом мерења притиска. Стога се сензор притиска високих температура постаје веома важан истраживачки смер.
Класификација сензора притиска високих температура
Према различитим материјалима који се користе, сензори притиска на високим температурама могу се поделити на полисиликон (поли-СИ) сензори притиска високог температура, СИЦ сензори притиска високих температура, сои (силицијум на изолаторским сензорима на високим температурама, СОС (силицијум на саппхире сензорима притиска, оптичким влакнима високим температурама, а сензор притиска оптичких влакана, а сензорит притиска и изгледе за систем и изгледе за систем и изгледе и перспективе притиска. СОИ сензори притиска високих температура су врло идеалне. Следеће се углавном уводи сензор притиска високе температуре.
СоИ сензор притиска високих температура
Развој сензора притиска са високим температурама углавном се ослања на пораст сои материјала.СОИ је силицијуц на изолатору, који се углавном односи на полуводичку материју који се формира између СИ подложног слоја и силитара који су изолациони слој омогућава изолационо слој и слој за изолацију и слој за подлогу, елиминише уобичајени ефекат сои-а, елимира олакшицама сои-а, а да је специјална структура сои-а. Побољшава поузданост уређаја. Поред тога, због карактеристика високе температуре слоја СОИ уређаја постаје идеалан материјал за припрему сензора притиска високих температура.
Тренутно су се сензори притиска високих температура успешно развијени и радна температура је -55 ~ 480 ° Ц; -55 ~ 500 ° Ц сои сензор притиска високих температура који је развио гоодрицх напредни сензорски технолошки центар у Сједињеним Државама; Сјенсор притиска са високим температурама које је развио Француски институт Лети такође има радну температуру од више од 400 ° Ц.Домдоестична истраживачка институција и активно спроводе истраживање о СОИ сензорима притиска на високим температурама, као што су Универзитет на високом нивоу на високим температурама, универзитета у Тиатотонгу, Универзитета и Пекинг Университи. Поред тога, Фатри Будући напредни технолошки истраживачки институт за ФаТРИ такође спроводи сродни истраживачки рад, а тренутни пројекат је унео демонстративну фазу.
Принцип рада СОИ сензора притиска високих температура
У принципу, СОИ сензор притиска на високим температурама углавном користи пиезоресистивно дејство једноструког кристалног силицијума. Када се сила делује на силиконским кристалу, што заузврат доводи до промене у промени мобилности превозника, што је у специфичном смеру на врху перикон на врху паттезности на сои врхунским путем. Слој уређаја да би се добио мост са пшеницом као што је приказано на слици 2 (а); Шупљина под притиском је заљепљена на слој сузграта Сои да формира структуру осетљиве на притисак.
Слика 2 (а) Мост Вхеатстоне
Када се структура осетљива на притисак подвргнута ваздуху, отпорност на промјене пиезоресистора, што заузврат узрокује да се излазни напон промијени, а вредност притиска се мери кроз однос између излазне вредности напона и вредност отпора и вредности отпора и вредности отпора.
Процес израде сои сензор притиска високих температура
Процес припреме СОИ сензор притиска високог температура укључује више процеса МЕМС-а. Овде се накратко представе неки кључни кораци како би се разумели процес сензора, углавном укључујући пиезоресисторску припрему, припрему метала, препарат за филм осетљиву на притисак и амбалажу за комору под притиском.
Кључно за припрему ванистора лежи у контроли концентрације допинга и оптимизацију накнадног процеса калупа за јетње; Метални оловни слој углавном служи као веза моста Вхеатстоне; Припрема филма осетљив на притисак углавном се ослања на дубоког процеса јеткања силицијума; Паковање шупљине обично варира у зависности од примене сензора притиска,
Пошто тренутни комерцијализовани сензори високог температуре не могу испунити захтеве за мерење притиска специјалних оштрих окружења, као што су високих температура уља и аеро-мотори, будуће истраживање сензора притиска на високим температурама, постало је неизбежно.дуј за своју посебну структуру и карактеристике високих температура, постали су сензори високих температура и високим температурама. Будуће истраживање о СОИ сензорима на високим температурама требало би да се фокусирају на решавање дугорочне стабилности и проблема са самогресивним сензорима у оштром окружењима са високим температурама и побољшање тачности сензора притиска. аспект.
Наравно, појава интелигентне ере такође захтева да се сензори притиска са високим температурама комбинују са другим мултидисциплинарним технологијама да доносе интелигентније функције као што су самопосебно средство, само-калибрација и складиштење информација, како би боље довршили мисију осетљиве температуре високе температуре. .
Вријеме поште: 13. фебруара